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半导体手动式真空角阀原理_选型

作者:台湾HTC 日期:2019-07-10 点击:3665

真空阀(Vacuum Valves) -角阀(手动)是属提升锥阀的一种。当提升锥被顶至顶端时, 阀门内部的结构腔是开放系统且气体流动不受阻碍。一旦提升锥被移动至阀门底部时,橡胶密封圈被压缩密封阀门,而阻绝气体的流通达到密封之效果。
台湾Htc提供各式形式尺寸的真空角阀。它们有手动和气动,有软管与无软管。接口端可以焊KF, ISO, CF法兰。Htc真空设计所有系列角阀适用于真空排气系统、高真空应用的抽气系统、半导体技术与研究系统等。

本体不锈钢304S.S.(可依客户要求提供其它材质)

提升锥不锈钢304S.S.(可依客户要求提供其它材质)

接口端外径3/4 ~ 8 英寸

软管Welded AM-350 (选配)

密封Viton O型环

漏率2×10-9 mbar-l/sec

使用压力范围1×10-9 mbar 1000 mbar

最大使用压差1.2 Bar

建议螺丝锁紧扭力
ISO直角真空阀门规格
ISO-63 ~ ISO-160 100 Kg-cm 
ISO-200 ~ ISO-320 140 Kg-cm 
CF直角真空阀门规格
CF 35 170 Kg-cm 
CF-50~CF-200 210Kg-cm 
CF-250~CF-300 360Kg-cm

耐温限制

烘烤温度

阀门本体

O型圈密封

Open ≤ 100℃

Close ≤ 100℃

金属密封

Open ≤ 200℃

Close ≤ 150℃

手动式和气动式

≤ 80℃

保固条件

自客户收到货品起一年内, 或到达产品设定的使用次数, 先到者为准

操作环境限于空气, 惰性气体及真空

因天然灾害, 错误操作造成的损坏及消耗品不在保固范围内

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